标准号：T/ICMTIA 5.3-2020
标准名称：集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
本文件适用于集成电路用ArF光刻胶。
批发部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草单位：宁波南大光电材料有限公司
起草人：许从应、毛智彪、马潇、顾大公、李珊珊
T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
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