标准号：T/SHXCL 0004-2021
标准名称：无纺布/聚氨酯复合抛光垫
发布日期：2021-04-12
实施日期：2021-05-30
本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫(以下简称抛光垫)的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD 基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等材料的抛光，还可应用于 ITO 导电玻璃、玻璃基片、光掩模及 LCD 面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。
批发部门：上海市新材料协会
起草单位：海映智研磨材料有限公司、徐州永泽新材料科技有限公司、临汾博利士纳米材料有限公司、上海工程技术大学、名正（浙江）电子装备有限公司、上海华明高纳稀土新材料有限公司
起草人：张泽芳、王海波、彭诗月、苏双峰、刘涛、韩婷婷、孙韬、饶品华、陈晨、李阿伟、郑勇、杨筱琼、赵月昌