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T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

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标准号:T/NLIA 002-2021

标准名称:汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

发布日期:2021-04-26

实施日期:2021-06-01

批发部门:武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟

起草单位:武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司,武汉华工激光工程有限责任公司,华中科技大学,中国地质大学(武汉),武汉华工赛百数据系统有限公司,深圳优艾智合机器人科技有限公司,深圳市诚亿自动化科技有限公司,深圳技术大学,武汉科技大学。

起草人:李辉、张云帆、刘胜、申胜男、曹万、孙彬、吴巍、李新宇、文龙、姜静、许瑨、冷斌、吴丹、邓明星等。

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