标准号：T/CNIA 0060-2020
标准名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
发布日期：2020-05-27
实施日期：2020-08-01
本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9~1×10-5（V/V）。
批发部门：中国有色金属工业协会
起草单位：宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
起草人：刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明
T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
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