标准号：T/CATSI 09010-2021
标准名称：光学真空腔体洁净度检测规范
发布日期：2021-08-25
实施日期：2021-08-25
批发部门：中国技术监督情报协会
起草单位：北京大学、广东省新兴激光等离子体技术研究院、上海交通大学、北京世华尖锋科技有限公司、埃地沃兹贸易（上海）有限公司、北京中凯威科技发展有限责任公司、北京欣瑞拓科技有限公司、上海米雾环保技术有限公司、北京锐德康科技有限公司
起草人：赵家瑞、马文君、颜学庆、朱昆、林晨、赵研英、袁忠喜、徐圣宣、耿易星、牛化瑞、陈式有、高营、寿寅任、王科栋、陈黎明、陈民、王贵毅、许坚、张殿伟、杨大荥、李昂、莫一心