标准号：T/ZZB 2283-2021
标准名称：半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
发布日期：2021-08-26
实施日期：2021-09-26
本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。
本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。
批发部门：浙江省品牌建设联合会
起草单位：中钢新型材料股份有限公司、冶金工业信息标准研究院
起草人：杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙