T/BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范

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标准号：T/BEA 40002-2022

标准名称：微波ECR等离子体发生器校准规范

发布日期：2022-01-18

实施日期：2022-02-09

本规范规定了微波 ECR 等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。

本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。

批发部门：北京电子仪器行业协会

起草单位：北京东方计量测试研究所

起草人：贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧

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