标准号：T/QGCML 1407-2023
标准名称：半导体光伏制造用双套管密封装置
发布日期：2023-09-15
实施日期：2023-10-01
本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、 检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于半导体光伏制造用双套管密封装置的生产及检验。
批发部门：全国城市工业品贸易中心联合会
起草单位：武汉国伏科技有限公司、武汉安捷测网络营销有限公司、武汉阙途科技有限公司
起草人：张国柱、郑蔚、刘忠华、刘媛媛
T/QGCML 1407-2023 半导体光伏制造用双套管密封装置
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