标准号：T/QGCML 3970-2024
标准名称：半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
发布日期：2024-03-28
实施日期：2024-04-11
本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。
本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。
起草单位：凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司
起草人：张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋
T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
免费下载
本平台标准仅供学习参考，使用请以正式出版的标准版本为准。声明：资源收集自网络分享，所提供的电子版文档仅供学习参考，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误