标准号:DB44/T 1527-2015
标准名称:微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法
发布日期:2015-01-30
实施日期:2015-04-30
本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。
批准发布部门:广东省质量技术监督局行业分类信息传输、软件和信息技术服务业
广东省质量技术监督局
起草单位:广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司
起草人:王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆、熊磊、汪立文