标准号：GB/T 6621-1995
标准名称：硅抛光片表面平整度测试方法
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
废止日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海第二冶炼厂
GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
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