标准号：GB/T 15870-1995
标准名称：硬面光掩模用铬薄膜
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：长沙韶光微电子总公司
本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜（以下简称铬薄膜）。
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
免费下载
声明：资源收集自网络或用户分享，所提供的电子版文档或存在错误仅供参考，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误