标准号:GB/T 20726-2006
标准名称:半导体探测器X射线能谱仪通则
发布日期:2006-12-25
实施日期:2007-08-01
废止日期:2016-09-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位:中国科学院地质与地球物理研究所
起草人:曾荣树、徐文东、马玉光、范逛
本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的量值。本标准仅适用于国态电离作用原理的半导体探测器EDS。本标准只规定了与电子探针(EPMA)或扫描电镜(SEM)联用的此类EDS的最低要求,至于如何实现分析则不在本标准的规定范围之内。