标准号：GB/T 30656-2023
标准名称：碳化硅单晶抛光片
发布日期：2023-03-17
实施日期：2023-10-01
代替标准：GB/T 30656-2014
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院物理研究所、安徽长飞先进半导体有限公司
起草人：陈小龙、彭同华、刘春俊、李素青、郑红军、杨建、佘宗静、王波、郭钰、娄艳芳、骆红、钮应喜
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
