标准号：GB/T 42271-2022
标准名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人：彭同华、佘宗静、李素青、王波、刘立娜、王大军、张贺、杨建、袁松
本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。
本文件适用于测量电阻率范围为1×105Ω·cm~1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。
