标准号:GB/T 42543-2023
标准名称:表面化学分析 扫描探针显微术 悬臂梁法向弹性常数的测定
发布日期:2023-05-23
实施日期:2023-09-01
批发部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位:上海交通大学、上海市计量测试技术研究院、中国科学院上海应用物理研究所、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人:孙洁林、沈轶、蔡潇雨、何丹农、胡钧、李源
本文件描述了五种原子力显微术探针悬臂梁法向弹性常数的测量方法,测量的精度误差为5%~10%。每个方法分别隶属于尺寸法、静态实验法和动态实验法三类方法中的一种。方法的选择取决于分析所要达到的目的,便易性及现有的仪器条件。
本文件不适用于高于5%~10%的测量精度,如要获得高于5%~10%的测量精度,需要使用本文件未提及的更高精度的方法进行测量。