标准号：GB/T 26111-2023
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-09-01
代替标准：GB/T 26111-2010
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、无锡华润上华科技有限公司、北京航空航天大学、天津大学、西安现代控制技术研究所、北京晨晶电子有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、广州广电计量检测股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、华东光电集成器件研究所、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、西安知微传感技术有限公司、北京大学、中国科学院空天信息创新研究院、上海交通大学、北京航天控制仪器研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、天津新智感知科技有限公司、中国科学院微电子研究所、南京高华科技股份有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江苏普诺威电子股份有限公司
起草人：顾枫、宋秀敏、张大成、夏长奉、张卫平、胡晓东、刘奎、熊斌、崔波、陈得民、李晓波、SHUMINZHANG、杨飞、高峰、李根梓、孙立宁、夏善红、董全林、刘会聪、邢朝洋、张永斌、张威、王玮冰、明志茂、张宾、张胜兵
本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。
本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
