标准号：GB/T 17473.6-2008
标准名称：微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定
代替标准：GB/T 17473.6-1998
发布日期：2008-03-31
实施日期：2008-09-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：贵研铂业股份有限公司
起草人：刘成、赵汝云、陈伏生
本部分规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率测定方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料的分辨率测定。
GB/T 17473.6-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定
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