标准号：GB/T 42709.7-2023
标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-12-01
批发部门：工业和信息化部（电子）
归口单位：工业和信息化部（电子）
起草单位：中国电子技术标准化研究院、河北美泰电子科技有限公司、北京必创科技股份有限公司、中国电子信息产业集团有限公司、北京大学、天津大学
起草人：刘若冰、李博、张威、陈得民、崔波、梁彦青、杨清瑞
本文件界定了用于射频控制和选择的MEMS体声波谐振器、滤波器和双工器的术语和定义，给出了基本额定值和特性，描述了测试方法，用于评估和确定其性能。
本文件规定了体声波谐振器、滤波器和双工器的试验方法和通用要求，用于能力批准程序或鉴定批准程序的质量评定。
