标准号：GB/T 43976-2024
标准名称：电子气体 四氟甲烷
发布日期：2024-04-25
实施日期：2024-11-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：浙江省化工研究院有限公司、杭氧集团股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化技术中心有限公司、江西华特电子化学品有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、金宏气体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、宿州伊维特新材料有限公司、中国计量大学、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、昊华气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司、天津绿菱气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、上海伟创标准气体分析技术有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、浙江解氏新材料股份有限公司、浙江省标准化研究院、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司
起草人：史婉君、王娟、胡迎、付梦月、王占卫、袁瑞玲、马建修、陈程、何西、禹金龙、沈琦、郭华轩、沈益军、潘金平、吕博文、万娟秀、刘亮、张朋越、方华、郑新蕊、黄辉、刘扬涛、李阳、梁永强、赵帅德、马昌宁、彭诚、张琦炎、罗霞、李企真、朱晓平、傅铸红、陈艳珊、褚人财、李霞、曹素英、何经余、王新喜、孙猛、洪倩、石林、朱明、谈益强、陈洁、吴靓、何波、黄小强、宫兵、易达文、梁成科、高静、周鹏云、刘定川
本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求，描述了相关的试验方法。
本文件适用于由工业四氟甲烷提纯制备的四氟甲烷。