标准号:GB/T 14601-2009
标准名称:电子工业用气体 氨
代替标准:GB/T 14601-1993
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-05-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:大连光明化工研究院、武汉市鼎立化工有限责任公司、中国西南油气田成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院
起草人:孙福楠、刘泽军、周鹏云、付永成、谢国清
u3000u3000本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。