GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨

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标准号:GB/T 14601-2009

标准名称:电子工业用气体 氨

代替标准:GB/T 14601-1993

发布日期:2009-10-30

实施日期:2010-05-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:大连光明化工研究院、武汉市鼎立化工有限责任公司、中国西南油气田成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院

起草人:孙福楠、刘泽军、周鹏云、付永成、谢国清

u3000u3000本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。

GB/T 14601-2009 电子工业用气体  氨

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