GB/T 5238-2009 锗单晶和锗单晶片

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标准号:GB/T 5238-2009

标准名称:锗单晶和锗单晶片

代替标准:GB/T 15713-1995、GB/T 5238-1995

发布日期:2009-10-30

实施日期:2010-06-01

废止日期:2020-05-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:南京锗厂有限责任公司

起草人:张莉萍、吴玉麟

u3000u3000本标准规定了锗单晶和锗单晶片的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)内容。 u3000u3000本标准适用于制作半导体器件、激光、外延衬底等用的锗单晶和锗单晶片。

GB/T 5238-2009 锗单晶和锗单晶片

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