标准号：GB/T 24580-2009
标准名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：马农农、何友琴、丁丽
本标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。本标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。
