标准号：GB/T 1554-2009
标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
代替标准：GB/T 1554-1995
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
起草人：何兰英、王炎、张辉坚、刘阳
u3000u3000本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
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