标准号：GB/T 25497-2010
标准名称：吸气剂气体吸放性能测试方法
代替标准：GB/T 9506.7-1988、GB/T 9506.5-1988、GB/T 9506.4-1988、GB/T 6626.3-1986、GB/T 9506.8-1988
发布日期：2010-12-01
实施日期：2011-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所
起草人：薛函迎、张巨先、郭卫斌、刘筠
本标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。
