标准号:GB/T 25915.8-2010
标准名称:洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-06-01
批准发布部门:国家市场监督管理总局
归口单位:中国标准化协会
起草单位:中国电子工程设计院、北京希达建设监理有限责任公司、苏州华泰空气过滤器有限公司等、北京世源希达工程技术公司、中电投工程研究检测评定中心
起草人:王尧、蔡杰、张申元、徐勤、王大千、张利群
GB/T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。本部分目前只考虑洁净室运行工况下l0 0g/m3~l0-12g/m3的AMC浓度。本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。本部分无意探讨空气分子污染物的特性。本部分不包含对表面分子污染的分级。