标准号:GB/T 25915.6-2010
标准名称:洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-05-01
批准发布部门:国家市场监督管理总局
归口单位:中国标准化协会
起草单位:苏州市洁净室科技促进中心、深圳市标准化研究院等、中国电子学会洁净技术分会
起草人:王尧、陈刚、乐细明、缪德骅、涂有
GB/T 25915的本部分给出了洁净室和相关受控环境有关的术语和定义,是本系列标准其他部分 出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T 25916.1和GB/T 25916.2中的术语和定义。