标准号：GB/T 26111-2010
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学
起草人：丁红宇、刘伟、张苹、崔波
本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。
