标准号：GB/T 15861-2012
标准名称：离子束蚀刻机通用规范
代替标准：GB/T 15861-1995
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
归口单位：工业和信息化部（电子）
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人：陈特超、周大良
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
