标准号：GB/T 14620-2013
标准名称：薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片
代替标准：GB/T 14620-1993
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
归口单位：工业和信息化部（电子）
起草单位：中国电子技术标准化研究院
起草人：曹易、李晓英
本标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片(以下简称“基片”）的生产和采购,采用薄膜工艺的片式元件用氧化铝陶瓷基片也可参照使用。
