标准号:GB/T 29732-2013
标准名称:表面化学分析 中等分辨率俄歇电子谱仪 元素分析用能量标校准
发布日期:2013-09-18
实施日期:2014-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位:清华大学、厦门大学
起草人:姚文清、王水菊、李展平、朱永法、张占男、牟豪杰
本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,还规定一种用于确定校准周期的方法。本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于0.5%,微分模式调制幅度的峰峰值为2eV。本标准适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4keV或更高束能电子枪的谱仪。