标准号:GB/T 30858-2014
标准名称:蓝宝石单晶衬底抛光片
发布日期:2014-07-24
实施日期:2015-04-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、浙江昀丰新能源科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司、中国科学院上海光机所、浙江上城科技有限公司
起草人:魏明德、黄朝晖、徐永亮、袁忠纯、刘逸枫、杭寅
本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片(以下简称蓝宝石衬底片)。