标准号：GB/T 19199-2015
标准名称：半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
代替标准：GB/T 19199-2003
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-07-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子材料行业协会、天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人：何秀坤、李静、张雪囡
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。 本标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×10^15 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×10^14atoms/cm3。
