标准号：GB/T 32814-2016
标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：西北工业大学、中机生产力促进中心
起草人：苑伟政、谢建兵、马志波、常洪龙、李海斌、乔大勇、刘伟
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
