标准号：GB/T 32996-2016
标准名称：表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
发布日期：2016-10-13
实施日期：2017-09-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：上海市计量测试技术研究院、中国科学院化学研究所、华东师范大学
起草人：徐建、郝萍、吴立敏、陈永康、张云艳、刘芬、朱丽娜、周莹
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
