标准号：GB/T 36655-2018
标准名称：电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的测试方法 XRD法
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、汉高华威电子有限公司、江苏联瑞新材料股份有限公司
起草人：封丽娟、李冰、曹家凯、吕福发、陈进、夏永生、阮建军、王松宪
本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉中态晶体二氧化硅含量的XRD测试方法。
本标准适用于电子封装用球形二氧化硅微粉中检测态晶体二氧化硅含量，其他无定形二氧化硅含量的检测也可参照本标准执行。态晶体二氧化硅含量测试范围0.5％以下半定量分析，0.5%～5%定量分析。
