GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟

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标准号:GB/T 37030-2018

标准名称:电子级三甲基铟

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-04-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人:陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰

本标准规定了三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。

本标准适用于铟镁合金法、三氯化铟法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铟。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。

分子式:C3H9In

相对分子质量:159.92(按2013年国际相对原子质量计算)

GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟

GB/T 37030-2018(首页预览图)

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