标准号:GB/T 40069-2021
标准名称:纳米技术 石墨烯相关二维材料的层数测量 拉曼光谱法
发布日期:2021-05-21
实施日期:2021-12-01
批准发布部门:中国科学院
归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位:中国科学院半导体研究所、河北大学、冶金工业信息标准研究院、贝特瑞新材料集团股份有限公司、东南大学
起草人:谭平恒、梁奇、倪振华、贺雪琴、李晓莉、刘雪璐、李倩
本文件规定了使用拉曼光谱测量石墨烯相关二维材料的层数的方法。
本文件适用于利用机械剥离法制备的、横向尺寸不小于2m的石墨烯薄片的层数测量。化学气相沉积(CVD:chemical vapor deposition)法制备的以AB堆垛或ABC堆垛的石墨烯薄片可参照本方法执行。
注1:测量石墨烯薄片的层数时,可单独或者综合几种方法联合测量并相互验证。
注2:第5章给出了基于2D模的线型(A法)。第6章给出了基于Si02/Si衬底的硅拉曼模峰高(B法)进行石墨烯薄片层数测量的拉曼光谱法。附录A给出了拉曼光谱法测量石墨烯薄片层数的各种方法概要一览表.附录B给出了基于石墨烯薄片G模的峰高(C法)进行石墨烯薄片层数测量的拉曼光谱法。