标准号：GB/T 21287-2021
标准名称：电子特气 三氟化氮
代替标准：GB/T 21287-2007
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：昊华气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、天津绿菱气体有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、浙江省化工研究院有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司
起草人：王娟、付梦月、傅铸红、陈艳珊、曹素英、宋富财、裴友宏、韦杰广、王新喜、孙猛、吕博文、陈洁、依俊廷、何波、宫兵、王大为、梁永强、梁成科、唐霞梅、李光辉、王少波、孟祥军、马建修、何经余、苏子杰、丁高松、史婉君、张建君、鬲春利、张琦炎、吴靓、方华、杨康、黄辉、易达文、李阳、高静、马昌宁、周鹏云、黄超
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
