标准号:GB/T 41213-2021
标准名称:集成电路用全自动装片机
发布日期:2021-12-31
实施日期:2022-07-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:大连佳峰自动化股份有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:王云峰、黄健、孙永军、孙启超、杜风芹、冯亚彬、梁晶晶、边志成、李德明、张飞、曹可慰
本文件规定了集成电路用全自动装片机的结构、分类、基本参数、工作条件、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本文件适用于集成电路封装用全自动装片机。