标准号：GB/T 20230-2022
标准名称：磷化铟单晶
代替标准：GB/T 20230-2006
发布日期：2022-03-09
实施日期：2022-10-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导微电子科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、云南鑫耀半导体材料有限公司、有研国晶辉新材料有限公司
起草人：孙聂枫、李晓岚、惠峰、李素青、邵会民、周铁军、王博、张晓丹、王阳、刘惠生、朱刘、王书杰、史艳磊、付莉杰、姜剑、王宇
本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。
本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。
