GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

免费下载
本平台标准仅供学习参考,使用请以正式出版的标准版本为准。

标准号:GB/T 4061-1983

标准名称:硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

发布日期:1983-12-20

实施日期:1984-12-01

废止日期:2010-06-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:峨嵋半导体材料厂

GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

GB/T 4061-1983(首页预览图)

声明:资源收集自网络分享,所提供的电子版文档仅供学习参考,如侵犯您的权益,请联系我们处理。

不能下载?报告错误