标准号:GB/T 4061-1983
标准名称:硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
发布日期:1983-12-20
实施日期:1984-12-01
废止日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:峨嵋半导体材料厂
标准号:GB/T 4061-1983
标准名称:硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
发布日期:1983-12-20
实施日期:1984-12-01
废止日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:峨嵋半导体材料厂
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