GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

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标准号:GB/T 14604-1993

标准名称:电子工业用气体 氧

发布日期:1993-08-26

实施日期:1994-07-01

废止日期:2010-05-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:化工部西南化工研究院

GB/T 14604-1993 电子工业用气体  氧

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