标准号：YS/T 23-2016
标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
代替标准：YS/T 23-1992
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在＜111、＜100和＜110 晶向的硅单晶衬底上生长的2m~120m硅外延层厚度的测量。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
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