标准号：SJ/T 11763-2020
标准名称：半导体制造设备人机界面规范
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
适用于半导体制造设备
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
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