标准号：SJ/T 11451-2022
标准名称：扩散炉能源消耗规范
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
代替标准：SJ/T 11451-2013
本文件规定了扩散炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。
本文件适用于工作温度在400℃ ~ 1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
归口单位：中国电子技术标准化研究院
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
起草人：李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳