标准号：SJ/T 10584-1994
标准名称：微电子学光掩蔽技术术语
发布日期：1994-08-08
实施日期：1994-12-01
本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语
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