T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

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标准号：T/IAWBS 003-2017

标准名称：碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

发布日期：2017-12-20

实施日期：2017-12-31

批发部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、全球能源互联网研究院、东莞天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所

起草人：冯淦、陈志霞、钮应喜、张新河、李赟、陆敏、彭同华、刘振洲

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