标准号：T/ICMTIA PC007-2021
标准名称：集成电路用氢氟酸
发布日期：2021-05-31
实施日期：2021-07-30
批发部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草单位：中巨芯科技有限公司
起草人：陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙
T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸
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