标准号：T/ZSA 224-2024
标准名称：半导体设备前端模块
发布日期：2024-04-12
实施日期：2024-04-13
本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。
起草单位：北京锐洁机器人科技有限公司、天津锐洁芯导机器人有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、华海清科（北京）科技有限公司、SMC（中国）有限公司
起草人：刘冬梅、王强、安国栋、李彤、鲁翠、王勇、赵海洋、李剑锋、刘祎晨、刘福生、周磊